金屬鍍膜磁控濺射薄膜監(jiān)測，7寸人機(jī)界面，自動手動模式切換控制，最大功率1000w直流磁控濺射
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金屬鍍膜磁控濺射薄膜監(jiān)測，7寸人機(jī)界面，自動手動模式切換控制，最大功率1000w直流磁控濺射
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制備LK-99 可選用 微型探針太臺測試材料，可預(yù)留接口以備安裝電子閥及流量計之用，充入其它氣體使用，溫度范圍為77.15K至673.15K（-196攝氏度到400攝氏度）
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超導(dǎo)體材料lk99 可用真空探針臺測試材料，可預(yù)留接口以備安裝電子閥及流量計之用，充入其它氣體使用，溫度范圍為77.15K至673.15K（-196攝氏度到400攝氏度）
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超導(dǎo)體材料研究 真空高低溫液氮探針臺，可預(yù)留接口以備安裝電子閥及流量計之用，充入其它氣體使用，溫度范圍為77.15K至673.15K（-196攝氏度到400攝氏度）
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高真空測量系統(tǒng)分子泵組，有分子泵接口和機(jī)械泵家口，一臺泵組兩用，空載極限壓強(qiáng)為1X10-4Pa
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高真空獲得系統(tǒng) 分子泵組合，有分子泵接口和機(jī)械泵家口，一臺泵組兩用，空載極限壓強(qiáng)為1X10-4Pa
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渦旋分子泵高真空泵組，有分子泵接口和機(jī)械泵家口，一臺泵組兩用，空載極限壓強(qiáng)為1X10-4Pa
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高真空泵組 中科儀分子泵，有分子泵接口和機(jī)械泵家口，一臺泵組兩用，空載極限壓強(qiáng)為1X10-4Pa
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量程可改高精度氣體流量計，采用觸摸屏控制，五段時間調(diào)節(jié)不同流量，使配氣更及時，更簡單，
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